在外加电场的作用下,介质阻挡放电产生的大量高能电子(e)轰击污染物分子,使其电离和激发,然后与其他活性粒子如氧原子(O)、羟基自由基(OH)结合,引发了一系列复杂的物理、化学反应,使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质,或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质,从而使污染物得以降解去除,从而达到净化废气的目的。